1.平面度测量设备的基本原理

平面度归于形状公役中的一种。形状公役是指单一提取（实践）要素形状的答应变动量。平面度公役指单一实践直线答应的变动全量。用于控制平面或空间直线的形状误差，其公役带根据不同的情况有几种不同的方式。平面度误差是指实践直线对抱负直线的变化量,反映了被测直线的不直程度；平面度误差可分为给定平面内的直线的误差、给定方向的平面度误差和恣意方向内的平面度误差。

2、平面度丈量方法
根据PSD芯片的平面度丈量仪：

检测设备的基本原理是使用直线性非常好的激光为参照，通过PSD传感器可准确定位光的能量中心方位的功能来完成对内孔平面度的测量。

自准直法内孔平面度测量方法：
平行光自准直法平面度检测仪器是将平行光管和准直望远镜结合为一体的一台仪器。通常由光源、分划板、分光镜、物镜以及望远接纳部分构成，其望远接纳部分由分划板和目镜组成，可通过人眼观测并结合机械测微装置完成丈量，也可由光电传感器完成接纳和丈量。
棒材在线平面度丈量仪：
丈量线、棒、管的外概括的平面度时，一起布置以上原理的设备3台，三台设备同一时刻丈量被测工件的方位数据左边和右边两台采集的方位连线，计算出中心设备的在平面度为0时的理论方位，与中心一台所获的方位数据比较，差值即为被测工件在当前方位的直线误差。
长管内孔平面度激光位敏测量仪：
内孔平面度测量仪是使用激光的直线性和位敏传感器可准确定位光的能量中心方位的功能来完成内孔平面度测量的体系。平面度测量体系误差量精度高，角度（弯曲方向）准确，可为被测工件的校直供给量化的科学依据。
以上四种平面度丈量方法都是非常好的平面度检测设备，其间的棒材在线平面度丈量仪仍是可应用于出产线上进行在线检测的设备，对棒材、管材等均可做到实时在线丈量。


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