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平面度测量误差测量的常用方法

时间: 2021-07-01 10:33:20   浏览:211

平面度是形位公差之一,是指基板所具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。以下主要介绍平面度的检平面度的定义。
平面度是指基片所具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差。平面的平面度公差符号,基本表示方法,如下图所示。


平面度测量方法。
平面度误差是指被测实际表面对其理想表面的波动量,理想平面的位置应符合最小条件,平面度误差属于形位误差中的形状误差。
平面度误差测量的常用方法如下
1、液面法:液面法以液面为测量基准面,液面由连通罐内的液面构成,用传感器测量。该方法主要用于测量大平面的平面度误差。
2、激光平面度测量仪:激光平面度测量仪用于测量大型平面的平面度误差。
3、平晶干涉法:用光学平晶的工作面表现理想的平面,直接根据干涉条纹的弯曲程度确定被测量表面的平面度误差值。主要用于测量小平面,如测量规定的工作面和千分尺头测量面的平面度误差。
4、光束平面法:光束平面法采用基准值望远镜和目标镜测量,选择实际表面上最远的3点形成的光束平面作为平面度误差的测量基准面。
5、钟表测量法:钟表测量法将被测量零件和微计放在标准平板上,以标准平板为测量基准面,用微计沿实际表面逐点或沿几条直线方向测量。钟表测量法根据评价基准面分为3点法和对角线法:3点法根据测量实际表面上最远的3点决定的理想平面作为评价基准面,实际测量时将测量实际表面上最远的3点调整到与标准平板等高度的对角线法实际测量时,将实际表面的4个角点根据对角线调整到2等高度。然后用测量仪测量,测量仪在整个实际表面测量的最大变动量是该实际表面的平面度误差。
6、如何利用数据采集器连接百分表测量平面度误差。
测量仪器:钟摆、百分比表、数据收集仪。
优势:优势:
1)不需要人工用肉眼阅读,可以减少人工阅读产生的误差
2)无需人工处理数据,数据收集器自动计算平面度误差值。
3)测量结果通报,测量结果不在平面度公差带时,数据收集器会自动通报。




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